GaAsの結晶成長シミュレーション

シミュレーションで使用した反応炉の形状

シミュレーションに使用した有限要素メッシュ構造

GaAsの成長率

反応炉内の温度分布

速度分布図

Ga(CH3)3の質量比分布

実験値との成長率の比較